鍍膜樣品載臺：

　　升降、旋轉(zhuǎn)（含樣品擋板）一套，升降、旋轉(zhuǎn)功能可通過PLC控制系統(tǒng)進(jìn)行控制；

　　3、真空主機(jī)部分：

　　主體采用304不銹鋼，焊接后，對真空腔體進(jìn)行表面處理，為亞光電解處理，前后門一套；

　　4、鍍膜檢測系統(tǒng)：

　　配備2支水冷晶振探頭，一臺自動控制膜厚儀；

　　5、蒸發(fā)源：

　　多套金屬蒸發(fā)源（含控制電源）

　   蒸鍍室性能：

　　高真空多功能蒸發(fā)設(shè)備主體均為不銹鋼制造，耐腐蝕、抗污染、漏率小;設(shè)備電控部分采用了先進(jìn)的檢測和控制系統(tǒng)，配置了較先進(jìn)的PLC觸摸編程控制，為用戶做多層膜提供了良好的設(shè)備功能保證，且保證了設(shè)備各功能的穩(wěn)定和方便操作。性能穩(wěn)定、可靠；設(shè)備布局合理，提高了利用率和穩(wěn)定性，減少了對環(huán)境的干擾；控制面板的設(shè)計考慮了美觀和適用的結(jié)合，使面板操作指示明確，觀察舒適、操作方便。

　　6、其他組成部分：

　　主體承載機(jī)架一套、CF100觀察窗組件一套、烘烤照明系統(tǒng)一套以及其他真空部件